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稳定可靠的灯丝加热电源是保障EB-PVD设备长期稳定工作的关键部件之一，采用三级AC-DC拓扑、低漏感的灯丝变压器、双闭环控制策略设计制造了灯丝加热电源。并将所研制灯丝加热电源与EB-PVD设备其它部件等进行系统集成，组成EB-PVD试验装置，对所研制灯丝加热变压器输入电压波形和最大输出电流进行检测，灯丝加热电流达到150 A以上；并且在此装置上测试了灯丝加热电流与输出电子束流的对应关系。试验结果表明：所研制的灯丝加热电源能够满足EB-PVD设备工作需求。
