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为实现数控机床几何误差的快速检测与准确补偿,提出了基于6D激光干涉仪的误差检测与建模方法。基于多体系统理论构建了机床的空间误差模型。基于6D激光干涉仪完成了对机床几何误差的检测,并提出了6D误差与空间误差模型的适配方法。针对误差数据中存在的波浪型误差,提出了基于傅里叶级数的误差建模方法,其相比于多项式在精度上提升了15%。基于i5os系统对圆轨迹进行了误差的补偿实验,补偿后圆度提升了58.79%,对机床精度的提升具有重要意义。