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四探针电阻率测量仪广泛应用于半导体行业，是测量半导体材料电阻率的常用设备。本文针对不同样品测量时应注意的测量条件、适用的计算公式做了简要的说明，并对晶圆薄片的精密测量结果的不确定度评定做了比较详细的论述。
